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アルバック
品名
型番
ヘリウムリークディテクター
301
真空計
BMR2
ピラニ真空計
BPR2
コントローラ
CRTM-9000G
コントローラ
DTI-1500-T6-224
真空装置
GP-1000
コントローラ
GS-PG
コントローラ
ISX-7700S
基板
P/N62-5100-27001-1
基板
PG6200
電源
PTI-300-T8-046
電源
PTI-300-T8-3231
電源
PTI-50-T6-1415
制御基板
RYB10224D